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特发性肺纤维化的肺泡壁发生纤维化、硬化，空气中的氧气被增厚的肺泡壁阻隔，很难进入到血管中，所以特发性肺纤维化患者常常表现为难治性缺氧。而氧气治疗的效果，也不如普通肺部疾病效果那么好。为了纠正特发性肺纤维化患者的缺氧，通常是给予高流量、高浓度吸氧，包括鼻导管吸氧和面罩吸氧，其中面罩吸氧给氧的效果要好一些，尤其是储氧面罩，能比鼻导管保证更高的氧浓度，以更好纠正患者的缺氧状态。理论上，机械通气不管是无创机械通气还是气管插管的有创机械通气，都可以保证高流量吸氧。但是机械通气的呼吸机所提供的氧气带有一定的压力，类似“压”到患者的肺里去。对于间质性肺病患者的肺已经发生的硬变，扩张度有限。这种有一定压力的气体，可能会导致患者的肺出现压力性损伤，比如气胸或者是纵隔气肿，给患者造成新的问题。因此，机械通气不作为纠正缺氧的首选方案。但如果面罩给氧或者是鼻导管给氧仍纠正不了缺氧，或者患者已经出现呼吸肌肉疲劳等情况时，出于治疗考虑，仍可能用到机械通气治疗。